| 8인치 초고진공 정전척 개발 | |||||
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| 글쓴이관리자 (IP: *.194.42.104) | |||||
| 작성일2020-08-25 17:02 | 조회수122,582 | ||||
| 글쓴이 | 관리자 (IP: *.194.42.104) | 작성일 | 2020-08-25 17:02 | 조회수 | 122,582 |
| 위탁기관 책임자 : 권기청 교수 소속 : 전자바이오물리학과 주관기업 : 어플라이드사이언스㈜ 사업구분 : 2020년 중소기업기술혁신개발사업 / 시장확대형 과제 과제명 : 8인치 초고진공 정전척 개발 사업기간 : 2020.06.01 ~ 2022.05.31 (24개월) 1차년도 총사업비 : 375,000천원 |
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